ในการปฏิบัติตามวิธีเจริญสมาธิ พึงทราบว่า กรรมฐานแต่ละประเภท มีรายละเอียดวิธีเจริญสมาธิแตกต่างกันไป แต่กระนั้น ก็พอจะสรุปเป็นหลักการทั่วไปอย่างกว้างๆ ดังที่บางคัมภีร์แสดงไว้ โดยจัดเป็นภาวนาคือ การเจริญ หรือการฝึก ๓ ขั้น ได้แก่ บริกรรมภาวนา อุปจารภาวนา และอัปปนาภาวนา 1642

นิมิต หรือ นิมิตต์ คือ เครื่องหมายสำหรับให้จิตกำหนด หรือภาพที่เห็นในใจ ซึ่งเป็นตัวแทนของสิ่งที่ใช้เป็นอารมณ์กรรมฐาน แบ่งเป็น ๓ อย่าง ตามลำดับความเจริญ คือ (ดู ตารางท้ายข้อ ๓. ประกอบด้วย)

นิมิต ๒ อย่างแรก คือ บริกรรมนิมิต และอุคคหนิมิต ได้ทั่วไปในกรรมฐานทุกอย่าง แต่ปฏิภาคนิมิต ได้เฉพาะในกรรมฐาน ๒๒ อย่าง ที่มีวัตถุสำหรับเพ่ง คือ กสิณ ๑๐ อสุภะ ๑๐ กายคตาสติ และอานาปานสติ

๑. บริกรรมภาวนา การเจริญสมาธิขั้นเริ่มต้น ได้แก่ การกำหนดถือเอานิมิตในสิ่งที่ใช้เป็นอารมณ์กรรมฐาน เช่น เพ่งดวงกสิณ กำหนดลมหายใจเข้าออกที่กระทบปลายจมูก หรือนึกถึงพุทธคุณเป็นอารมณ์ ว่าอยู่ในใจ เป็นต้น พูดง่ายๆ ว่ากำหนดบริกรรมนิมิตนั่นเอง

เมื่อกำหนดอารมณ์กรรมฐาน (คือ บริกรรมนิมิต) นั้นไป จนมองเห็นภาพสิ่งนั้นติดตาติดใจแม่นยำ ก็เกิดเป็นอุคคหนิมิต จิตก็เป็นสมาธิขั้นต้น ที่เรียกว่า บริกรรมสมาธิ (คือ ขณิกสมาธิ นั่นเอง)

๒. อุปจารภาวนา การเจริญสมาธิขั้นอุปจาร ได้แก่ อาศัยบริกรรมสมาธิ เอาจิตกำหนดอุคคหนิมิตต่อไป จนกระทั่งแน่วแน่แนบสนิทในใจ เกิดเป็นปฏิภาคนิมิตขึ้น นิวรณ์ก็สงบระงับ (ในกรรมฐานที่ไม่มีวัตถุเพ่ง เพียงแต่นึกถึงอารมณ์อยู่ในใจ ไม่มีปฏิภาคนิมิต กำหนดด้วยจิตแน่วแน่จนนิวรณ์ระงับไปอย่างเดียว) จิตก็ตั้งมั่นเป็นอุปจารสมาธิ เป็นขั้นสูงสุดของกามาวจรสมาธิ

๓. อัปปนาภาวนา การเจริญสมาธิขั้นอัปปนา ได้แก่ เสพปฏิภาคนิมิตที่เกิดขึ้นแล้วนั้นสม่ำเสมอด้วยอุปจารสมาธิ พยายามรักษาไว้ ไม่ให้เสื่อมหายไปเสีย โดยหลีกเว้นสถานที่ บุคคล อาหาร เป็นต้น ที่เป็นอสัปปายะ เสพแต่สิ่งที่เป็นสัปปายะ1643 และรู้จักปฏิบัติตามวิธีที่จะช่วยให้เกิดอัปปนา เช่น ประคับประคองจิตให้พอดี เป็นต้น1644 จนในที่สุด ก็เกิดเป็นอัปปนาสมาธิ บรรลุปฐมฌาน เป็นขั้นเริ่มแรกของรูปาวจรสมาธิ